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真空爐分為淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬真空爐即將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體（如氮）進行冷卻。
適用于氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的材料。
液淬是將工件在加熱室中加熱后，移至冷卻室中充入高純氮氣并立即送入淬火油槽，快速冷卻。如果需要高的表面質(zhì)量，工件真空淬火和固溶熱處理后的回火和沉淀硬化仍應(yīng)在真空爐中進行。
香港立式高壓氣淬真空爐
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