真空熱處理即真空技術與熱處理兩個專業(yè)相結合的綜合技術，是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進行的。我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。
真空爐和中頻電爐在熱加工領域有著很好的發(fā)展前景，用于：透熱、軋制、鍛造、彎管、熱處理（淬火）、焊接等工藝的感應加熱。
1.油淬真空爐處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色的氮化鈦。
2.真空爐活動連接部分全部采用O型橡膠圈密封連接，此部分均通水冷卻。
3.工件在真空狀態(tài)下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
4.真空爐的保養(yǎng)應在真空或充純氮狀態(tài)下，避免平時不用時吸氣，吸潮。
5.國內(nèi)真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h，國外某些企業(yè)的標準為0.67Pa/h
6.油淬真空爐真空加熱以輻射為主，工件在爐內(nèi)應該保持間距。
7.升溫過程中，工件及爐內(nèi)材料會放氣，使真空度下降。
8.真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規(guī)處理時加熱溫度相同。
9.真空回火爐應該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調(diào)。
10.冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。
11.升溫：放入工件后，一般先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱。
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