目前真空淬火爐主要以真空油淬和真空氣淬為主，它們各有其優(yōu)缺點：從淬火后的表面質(zhì)量看，真空油淬比真空氣淬光亮度低20% ~ 30%，而且要進行清洗，從淬火后工件力學(xué)性能看，高速鋼工具經(jīng)過真空油淬后在工件表面形成一個由殘余奧氏體和碳化物組成的白亮層，經(jīng)x射線結(jié)構(gòu)分析證明：白亮層是由大量復(fù)合碳化物和殘余奧氏體組成，形成碳化物的碳不是來自于爐內(nèi)的殘存氣氛，而是來自淬火油。為克服真空油淬的不足，我們對國內(nèi)外在真空氣淬方面進行了大量而深入的研究，對真空氣淬的機理、特性和影響因素有了深入的理解。
影響真空氣淬冷卻能力的因素有三，一是淬火氣體的種類，冷卻能力從高到低依次是: H2、 He、N2. Ar；二是淬火時充氣的壓力，充氣壓力越高，真空爐的冷卻能力越強，但當(dāng)壓力增高到一定程度后其影響減弱；三是通過工件的傳熱介質(zhì)的流量，通過工件的流量越大，真空爐的冷卻能力越強，另外通過爐料的氣流分布以及流過工件加熱氣體的再冷卻，亦對高壓氣體淬火的冷卻效果有影響"。
在生產(chǎn)應(yīng)用中，低合金鋼淬火件、大尺寸的模具和軸類、高密集裝載工件，5 ~ 6bar的真空高壓氣冷淬火仍顯不足。以生產(chǎn)大型模具的客戶為了提高產(chǎn)品質(zhì)量，需要更快冷卻速度的淬火爐，來滿足客戶對于大型模具的淬火技術(shù)要求。
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