真空爐爐膛內(nèi)的壓力能抽成低於大氣壓力的工業(yè)爐。真空爐用電加熱﹐被加熱的工件表面不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機械性能好。用真空爐熔煉金屬有利於除去雜質(zhì)﹐成品針孔少﹐偏析小﹑質(zhì)量好。真空爐適用於高質(zhì)量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的冶煉和磁性材料,電工材料﹑高強鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。真空爐出現(xiàn)於20世紀30年代前后。1927年美國製成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業(yè)上已用於熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應爐在工業(yè)上得到廣泛應用。

真空爐一般由爐膛﹑電熱裝置﹑密封爐殼﹑真空系統(tǒng)﹑供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成,可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。油淬真空爐為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位於密封爐殼內(nèi)。真空回火爐根據(jù)爐子用途爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝﹐有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵﹑真空閥門和真空計等組成。

二十世紀50年代，無芯感應爐得到迅速發(fā)展。后來又出現(xiàn)了電子束爐，利用電子束來沖擊固態(tài)燃料，能強化表面加熱和熔化高熔點的材料。油淬真空爐用于鍛造加熱的爐子Z早是手鍛爐，其工作空間是一個凹形槽，槽內(nèi)填入煤炭，低壓真空滲碳真空爐燃燒用的空氣由槽的下部供入，工件埋在煤炭里加熱。這種爐子的熱效率很低，加熱質(zhì)量也不好，而且只能加熱小型工件，以后發(fā)展為用耐火磚砌成的半封閉或全封閉爐膛的室式爐，可以用煤，煤氣或油作為燃料，也可用電作為熱源，工件放在爐膛里加熱。

為便于加熱大型工件，真空回火爐又出現(xiàn)了適于加熱鋼錠和大鋼坯的臺車式爐，油淬真空爐為了加熱長形桿件還出現(xiàn)了井式爐。20世紀20年代后又出現(xiàn)了能夠提高爐子生產(chǎn)率和改善勞動條件的各種機械化、自動化爐型。低壓真空滲碳真空爐工業(yè)爐的燃料也隨著燃料資源的開發(fā)和燃料轉(zhuǎn)換技術的進步，真空回火爐而由采用塊煤、焦炭、煤粉等固體燃料逐步改用發(fā)生爐煤氣、城市煤氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料，并且研制出了與所用燃料相適應的各種燃燒裝置。